Berührungslose Vermessung asphärischer Linsen
Die Prüfung asphärischer Formgenauigkeit ist eine große Herausforderung für Hersteller: Es gilt, kleinste Formabweichungen im Nanometerbereich zu messen und dabei möglichst kurze Messzeiten – einschließlich Rüstzeiten – zu ermöglichen. Ein Interferometer des Messtechnikunternehmens Mahr bringt jetzt die Lösung. Es nutzt unterschiedlich gekippte Wellenfronten und ermöglicht die Vermessung der Prüflingsoberfläche in nur 20 bis 30 Sekunden. Als Teil des Gesamtsystems übernimmt ein Hexapod von Physik Instrumente (PI) mehrere Positionieraufgaben in den Bereichen Kalibrierung und Messung.
Mess- und Referenzierungsprozess
Das neue Messsystem erfasst den Prüfling nicht auf einmal, sondern in vielen Subaperturen. Die ungestörten Interferenzmuster der einzelnen Subaperturen werden dann zu einer Topographie der Prüflingsoberfläche zusammengerechnet und die Abweichung von der Sollform bestimmt. Dieses Prinzip ermöglicht es, individuelle Oberflächenformen mit hoher lateraler Auflösung und Messunsicherheiten von unter 50 nm zu messen.
Für die Kalibrierung und Referenzierung wird eine hochgenau gefertigte Kugel bekannter Geometrie für jede Beleuchtungs-Subapertur an eine bestimmte Position gefahren und deren Oberfläche mit der jeweiligen Subapertur gemessen. Da sich laterale Positionsfehler der Kalibrierkugel im Korrekturalgorithmus der jeweiligen Subapertur auswirken, muss auch die Kalibrierkugel präzise positioniert werden. Gefordert ist ein maximaler lateraler Positionierfehler von 5 µm bei einer Wiederholgenauigkeit von weniger als 0,5 µm.
Um die hohen Anforderungen an den Positioniermechanismus sicherzustellen, hat sich Mahr für den Hexapod H-824 von PI entschieden. Das parallelkinematische System positioniert die Kalibrierkugel und vor dem eigentlichen Messvorgang auch den Prüfling in fünf Freiheitsgraden. Hierbei müssen Soll- und Ist-Position sehr genau übereinstimmen. So dürfen z.B. Abweichungen bei der Kippung 60 µrad nicht überschreiten.
Anbieter
Physik Instrumente (PI) SE & Co. KGAuf der Römerstr. 1
76228 Karlsruhe
Deutschland
Meist gelesen
Opto-Doppelspitze setzt auf neue Strategie, Technik und operative Prozesse
Opto wird von Markus Riedi und Dr. Daniel Kraus als Doppelspitze geführt. Sie fokussieren auf Internationalisierung, strategische Partnerschaften und Unternehmensstruktur, um Wachstum und Skalierung zu fördern.
Schwere Lasten mit wenig Kraft bewegen
Kugelrollen erleichtern manuelle Handhabung und lösen Transportprobleme
Die Bahn auf dem Weg in die Wasserstoffmobilität
Die Zukunft der Bahn wird klimafreundlich: Wasserstoffzüge bieten leisen, sauberen und effizienten Betrieb und eröffnen auf nicht elektrifizierten Strecken nahezu emissionsfreie Alternativen zu Dieselfahrzeugen.
Shack-Hartmann-Sensor für Filtermessungen im Transmissionsband
Die Präzision optischer Anwendungen steigt, ebenso die Qualitätsanforderungen. Hersteller müssen Produktion und Messtechnik anpasen. Ein Shack-Hartmann-System bietet eine Lösung mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit
Digitales Vision-Messsystem für die Qualitätskontrolle in der Fertigung
Das QM-Fit-System ist ein Bildverarbeitungsmessgerät speziell für die schnelle und exakte Prüfung kleiner Bauteile. Es reduziert den Aufwand in der Qualitätssicherung und liefert reproduzierbare Ergebnisse.