Berührungslose Vermessung asphärischer Linsen
Die Prüfung asphärischer Formgenauigkeit ist eine große Herausforderung für Hersteller: Es gilt, kleinste Formabweichungen im Nanometerbereich zu messen und dabei möglichst kurze Messzeiten – einschließlich Rüstzeiten – zu ermöglichen. Ein Interferometer des Messtechnikunternehmens Mahr bringt jetzt die Lösung. Es nutzt unterschiedlich gekippte Wellenfronten und ermöglicht die Vermessung der Prüflingsoberfläche in nur 20 bis 30 Sekunden. Als Teil des Gesamtsystems übernimmt ein Hexapod von Physik Instrumente (PI) mehrere Positionieraufgaben in den Bereichen Kalibrierung und Messung.
Mess- und Referenzierungsprozess
Das neue Messsystem erfasst den Prüfling nicht auf einmal, sondern in vielen Subaperturen. Die ungestörten Interferenzmuster der einzelnen Subaperturen werden dann zu einer Topographie der Prüflingsoberfläche zusammengerechnet und die Abweichung von der Sollform bestimmt. Dieses Prinzip ermöglicht es, individuelle Oberflächenformen mit hoher lateraler Auflösung und Messunsicherheiten von unter 50 nm zu messen.
Für die Kalibrierung und Referenzierung wird eine hochgenau gefertigte Kugel bekannter Geometrie für jede Beleuchtungs-Subapertur an eine bestimmte Position gefahren und deren Oberfläche mit der jeweiligen Subapertur gemessen. Da sich laterale Positionsfehler der Kalibrierkugel im Korrekturalgorithmus der jeweiligen Subapertur auswirken, muss auch die Kalibrierkugel präzise positioniert werden. Gefordert ist ein maximaler lateraler Positionierfehler von 5 µm bei einer Wiederholgenauigkeit von weniger als 0,5 µm.
Um die hohen Anforderungen an den Positioniermechanismus sicherzustellen, hat sich Mahr für den Hexapod H-824 von PI entschieden. Das parallelkinematische System positioniert die Kalibrierkugel und vor dem eigentlichen Messvorgang auch den Prüfling in fünf Freiheitsgraden. Hierbei müssen Soll- und Ist-Position sehr genau übereinstimmen. So dürfen z.B. Abweichungen bei der Kippung 60 µrad nicht überschreiten.
Anbieter
Physik Instrumente (PI) SE & Co. KGAuf der Römerstr. 1
76228 Karlsruhe
Deutschland
Meist gelesen
Mehr Kreislauf durch PCR-Spouts
Standbodenbeutel mit Ausgießer kommen in immer mehr Anwendungen zum Einsatz. Setzen Hersteller auf Monomaterial-Konzepte, lassen sich Verpackungen besser recyceln und in den Kreislauf zurückführen.
Warum viele Vision-AI-Projekte trotz guter Modelle scheitern
KI-Modelle liefern in der industriellen Bildverarbeitung oft gute Resultate in der Pilotphase, im Serienbetrieb stoßen sie aber schnell an Grenzen.
Sauberes Wasser durch Umkehrosmose
Die Welt verbraucht viel Süßwasser. So viel, dass sie in eine Ära der dauerhaften Wasserverknappung eingetreten ist. Daher braucht es effektive und bezahlbare Wasserreinigungsmethoden.
Lidar-basierte 3D-Breitenmessung im Free-Flow-Verkehr
Tunnel sind für den Verkehr unverzichtbar, komplexe Technik im Tunnel und auch davor respektive danach spielt dabei eine wesentliche Rolle.
Warum Logistik über die Wettbewerbsfähigkeit entscheidet
Digitalisierung, Nachhaltigkeit und Resilienz müssen gleichzeitig gelingen – in einer Zeit, in der Kosten steigen und Ressourcen knapp sind. Logistik entscheidet damit über Tempo, Stabilität und Wettbewerbsfähigkeit.