19.11.2025 • Fachbeiträge

inspect award 2025: Kompaktes Weißlichtinterferometer mit hoher Auflösung

Das kompakte Weißlichtinterferometer von Mitutoyo ermöglicht eine berührungslose, hochpräzise Oberflächenrauheitsmessung mit Nanometerauflösung. Produktmanager Michael Köppinger erklärt im Interview, warum es sich für vielfältige Einsatzmöglichkeiten in Branchen wie Halbleiter-, Medizin- und Optiktechnik eignet.

David Löh, Chefredakteur der inspect

inspect: Welche Vorteile bietet die berührungslose Rauheitsmessung mit WLI?

Michael Köppinger: Das WLI-System (Weißlichtinterferometrie) ermöglicht eine hochpräzise und vollständig berührungslose Erfassung der Oberflächenrauheit und -topografie. Dadurch eignet es sich für sensible oder filigrane Bauteile. Da während des Messvorgangs keinerlei physischer Kontakt mit der Oberfläche stattfindet, werden selbst die empfindlichsten Strukturen weder verformt noch beschädigt. Dies ist insbesondere bei weicheren Materialien, feinen Mikrostrukturen oder beschichteten Oberflächen ein entscheidender Vorteil gegenüber konventionellen taktilen Verfahren, bei denen eine Tastspitze mechanisch über die Oberfläche geführt wird.
Ein weiterer bedeutender Vorteil liegt in der hohen vertikalen Auflösung des Systems im Bereich weniger Nanometer, die die Erfassung feinster Höhenunterschiede ermöglicht. Gleichzeitig bietet das System eine laterale Auflösung von 0,5 Mikrometern, was für die detailgetreue Analyse auch sehr kleiner Oberflächenelemente entscheidend ist. Hervorzuheben ist, dass die hohe, vertikale Auflösung zudem unabhängig von der gewählten optischen Vergrößerung ist.

inspect: Wie wurde die kompakte Bauform für industrielle Anwendungen optimiert?

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