Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer für Hochdurchsatz-Inspektionen

Mit dem Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer bietet ein Hersteller eine Lösung für die Analyse und Inspektion von Wafern bis 12 Zoll beziehungsweise 300 mm. Das Inspektionsportal mit vier Reinraumachsen ermöglicht das automatisierte Prüfen mehrerer Objekte gleichzeitig.

Der Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer von Steinmeyer Mechatronik verfügt über zwei X-Achsen für Scanner beziehungsweise Mikroskope bis 10 kg sowie zwei Y-Achsen für Chucks bis 15 kg und ermöglicht das Prüfen von Vorder- und Rückseite auf einem System. Das Achssystem ist für den Einsatz im Drei-Schicht-Betrieb bis Reinraumklasse ISO 2 ausgelegt, kompakt gebaut, wartungsarm und kundenspezifisch konfigurierbar.

Inspektion von Wafern bis 12 Zoll

Ob Wafer bis 12 Zoll beziehungsweise 300 mm, Probecards oder Leiterplatten: Mit dem Doppel-XYZ-Wafer-Positionierer lassen sich große Substrate schnell und präzise untersuchen. Eisenlose Direktantriebe ermöglichen Fahrten mit Spitzengeschwindigkeiten von bis zu 1.000 mm/s bei Verfahrwegen von bis zu 720 mm. Der hohe Probendurchsatz gewährleistet eine schnelle Analyse und damit kurze Zykluszeiten. Trotz des doppelten Durchsatzes ist die Aufstellfläche aufgrund der kompakten Bauweise gering. Die Basis für die vier Reinraumachsen bildet eine massive Granitplatte. Durch die Wiederholgenauigkeit von 0,3 µm lassen sich präzise Messergebnisse erreichen.

Hohes Maß an Individualität

Das Inspektionssystem wird mit voll vermessener Genauigkeit sowie inklusive Kabelmanagement, Motion Controller und Befestigungsbohrungen für Gehäuseanbauten geliefert. Zusätzlich kann die Vertikalverstellung wahlweise fest, manuell, motorisch mit Spindel oder dynamisch mit pneumatisch entlastetem Direktantrieb für Höhenkompensation bei voll interpolierter Bewegung erfolgen. Darüber hinaus steht viele Steuerungen zur Verfügung – mit DLL und API zur aufwandsarmen Software-Integration bis hin zur SPS-Einbindung. Durch den Portalaufbau lässt sich der Positionierer einfach in bestehende Linienprozesse integrieren. Reparatur, Instandhaltung und Wartung sind durch per Achstausch mit vorjustiertem Wechselschnittstellen mit kurzer Stillstandszeit erledigt.