TDI-Zeilenkameras für die DNA-Analyse, Photovoltaik und Waferinspektion

Schäfter+Kirchhoff liefert TDI-Zeilenkameras mit GigE-, CameraLink- und LVDS-Interface mit 1024, 2048 und 4096 Pixeln und Pixelfrequenzen bis zu 120 MHz.
Zeilenkameras mit Time Delayed Integration (TDI)-Technik haben eine typisch 96-128fach höhere Lichtempfindlichkeit als vergleichbare single-line Zeilenkameras. Sie werden verwendet, um trotz geringer Lichtintensitäten hohe Verarbeitungsgeschwindigkeiten zu erzielen. Einsatzgebiete sind u.a. die Fluoreszenzdetektion, z.B. zur Überprüfung von Bankdokumenten und zur DNA-Analyse (Biophotonik), die Prüfung spiegelnder Oberflächen (z.B. Siliziumwafern) mit Dunkelfeldbeleuchtung und die Detektion von Mikro-Cracks bei Solarzellen (Photovoltaik). Das TDI-Prinzip basiert auf der zeitverzögerten Mehrfachbelichtung eines bewegten Objektes. Der Sensor besteht aus einer Vielzahl nebeneinander liegender Sensorzeilen. Am Ende jeder Belichtungsperiode werden die bislang erzeugten Ladungen zeilenweise in die jeweils nächsthöhere Zeile verschoben (vgl. Abb. „charge transfer"). Während der folgenden Belichtungsperioden kommen weitere Ladungen hinzu, die aufsummiert, Zeile für Zeile weitertransportiert und schließlich nach der entsprechenden Anzahl von Belichtungen als Videosignal ausgegeben werden.