Silizium-Wafer in der MEMS-Fertigung prüfen

Schott und Moritex haben ein Verfahren zur Prüfung von Silizium-Wafern in der MEMS-Fertigung entwickelt. Der IR-MEMS Inspector kontrolliert mithilfe von sichtbarem und Infrarot-Licht nicht nur die äußere Oberfläche der Substrate, sondern auch die interne Qualität des Wafers. „Unser IR Inspection System nutzt die Tatsache, dass Infrarot-Licht Silizium durchdringt und man so automatisch MEMS-Bauteile auf Fehler überprüfen kann", erklärt Junya Inoue, Produktmanager und Application Engineer bei Moritex in Tokio. „Der Silizium-Wafer wird komplett in einem Vorgang von Infrarotlicht durchleuchtet und so auf der Oberfläche, der Unterseite und im Inneren auf Fehler untersucht." Das System verfügt über mehrere Zoomstufen und eine laut Hersteller leicht zu bedienende Software. Außerdem werden optional verschiedene Illuminations- und Mess-Funktionen sowie automatisiertes Einlegen der bis zu 8 Zoll großen Wafer angeboten.