Rundheits- und Geradheitsmessung in der Präzision von Formtestern

Durch ein hochgenaues telezentrisches Objektiv, eine luftgelagerte Drehachse mit ebenfalls luftgelagerter Gegenspitze und ein neues Korrekturverfahren sollen minimale Messabweichungen im Bereich von 200 nm für den prozesssicheren Nachweis von Rundheitstoleranzen bis 2 µm erreicht werden.

Zur Messung der Rundheit erfolgt die Bildaufnahme mit RotaryScan HD während der Bewegung der Drehachse. Aus den Bildern der verschiedenen Drehstellungen werden jeweils Messpunkte bestimmt, die dann zu einem Kreis gerechnet werden. Mit bis zu 400 Messpunkten pro Sekunde und Messabweichungen im Bereich von 200 Nanometern erreicht man bei deutlich geringerer Messzeit die Genauigkeit von Formmessgeräten.