Konfokale Sensorik im Koordinatenmessgerät

Mit dem NanoFocusProbe NFP bietet Werth Messtechnik die Integration eines konfokalen Flächensensors in Multisensor-Koordinatenmessgeräten an.
Der NFP wird zur flächenhaften Messung von Geometrie, Form und Rauheit an Mikrostrukturen eingesetzt, aber auch Schneidkantenradien an Werkzeugen oder Schichtdicken können gemessen werden. Der Einsatz ist sowohl im Fertigungs- als auch im Laborbereich möglich. Die Integration des NFP wurde durch eine exklusive Zusammenarbeit mit der Nanofocus AG realisiert. Der Sensor ist vollständig in das Werth Multisensorkonzept integriert und erlaubt geringste Antastabweichungen von einigen zehn Nanometern. Durch Einsatz verschiedener Optiken kann die Leistungsfähigkeit hinsichtlich Genauigkeit und Messbereich an die jeweilige Aufgabenstellung angepasst werden.