3D-Oberflächen präzise erfassen und rasch auswerten

Zygo führte auf der Control 2017 drei optoelektronische 3D-Oberflächen-Messgeräte vor: NewView 8000, NexView-Profiler und ZeGage. Die nach dem Prinzip der Coherence Scanning Interferometry (CSI) gemäß ISO 25178-604 arbeitenden Geräte decken einen weiten Einsatzbereich ab. Das auch als Weißlichtinterferometrie bekannte Messverfahren ermöglicht es, räumliche Flächen in sehr kurzer Zeit detailliert zu vermessen, zu bewerten und darzustellen. Ein weiterer Vorteil ist, dass die Probenoberflächen dabei prinzipiell nicht beschädigt werden.

Das NewView 8000 mit offenen Portalaufbau hat einen 150 mm großen Probentisch und wird in zwei Konfigurationen gebaut: mit Einzelzoom oder elektronisch gesteuertem Dreifachzoom. Wegen des modularen Baukonzepts kann das Gerät optimal auf den Einsatz in der Forschung, in der Produkt- und Prozessentwicklung oder in der Massenfertigung abgestimmt werden. Es kann Präzisionsteile – wie Automotive-Komponenten, strukturierte Halbleiter (Wafers), mikro-elektromechanische Systeme (MEMS) und Mikrofluidik-Teile – mit sehr unterschiedlichen Oberflächen erfassen und viele Parameter wie Rauheit, Planheit, Winkel und Stufen messen. Möglich ist auch, die Dicke von transparenten Schichten zu messen und 2D-Bildverarbeitungsmessungen durchzuführen.