Präzise bis auf den Nanometer genau

Micro-Epsilon hat sein Portfolio um ein absolut messendes Interferometer erweitert, das Schichtdicken mit Nanometergenauigkeit misst.

© Micro-Epsilon

Weißlichtinterferometer nutzen die Inter­ferenzeffekte von polychromatischem Licht. Es besteht aus verschiedenen Wellenlängen, um Informationen über den Abstand zu einer Oberfläche oder die Dicke eines Objekts zu gewinnen. Die Lichtquelle strahlt ein kontinuierliches Spektrum an Lichtwellen aus, das in einen Referenz- und einen Messstrahl aufgeteilt wird. Die beiden reflektierten Strahlen treffen aufeinander und überlagern sich. Durch Variation der Phasenverschiebung mit der Wellenlänge tritt bei bestimmten Wellenlängen eine konstruktive und bei anderen eine destruktive Interferenz auf.

Wird die Intensität dieses Interferenz­signales über der Wellenlänge aufgetragen, zeigen sich abwechselnd Minima und Maxima. Das so entstandene periodische Intensitätssignal im Spektrum des reflektierten Lichtes wird mittels Fourier-Transformation einem Abstand oder einer Dicke zugeordnet. Bei einer Dickenmessung interferieren die beiden Strahlen miteinander, die von der Vorder- und der Rückseite der Schicht reflektiert werden. Hierdurch ist das Messergebnis gleichzeitig unabhängig vom Abstand zum Messobjekt.