Präzise bis auf den Nanometer genau
Die Interferometrie ist in der Halbleiter-, Verpackungs- und Medizinindustrie von entscheidender Bedeutung. Neue Weißlichtsysteme bieten Nanometer-Präzision, hohe Messraten und sind ideal für den industriellen Inline-Einsatz
Alexander Streicher, Product Manager Sensors at Micro-Epsilon

Weißlichtinterferometer nutzen die Interferenzeffekte von polychromatischem Licht. Es besteht aus verschiedenen Wellenlängen, um Informationen über den Abstand zu einer Oberfläche oder die Dicke eines Objekts zu gewinnen. Die Lichtquelle strahlt ein kontinuierliches Spektrum an Lichtwellen aus, das in einen Referenz- und einen Messstrahl aufgeteilt wird. Die beiden reflektierten Strahlen treffen aufeinander und überlagern sich. Durch Variation der Phasenverschiebung mit der Wellenlänge tritt bei bestimmten Wellenlängen eine konstruktive und bei anderen eine destruktive Interferenz auf.
Wird die Intensität dieses Interferenzsignales über der Wellenlänge aufgetragen, zeigen sich abwechselnd Minima und Maxima. Das so entstandene periodische Intensitätssignal im Spektrum des reflektierten Lichtes wird mittels Fourier-Transformation einem Abstand oder einer Dicke zugeordnet. Bei einer Dickenmessung interferieren die beiden Strahlen miteinander, die von der Vorder- und der Rückseite der Schicht reflektiert werden. Hierdurch ist das Messergebnis gleichzeitig unabhängig vom Abstand zum Messobjekt.
Weiterlesen mit Login
Noch nicht registriert?
Registrieren Sie sich jetzt kostenfrei und Sie erhalten vollen Zugriff auf alle exklusiven Beiträge. Mit unserem Newsletter senden wir Ihnen Top-Meldungen aus der Automatisierung, Bildverarbeitung und Licht- und Lasertechnik im Industrieumfeld. Außerdem erhalten Sie regelmässig Zugriff auf unsere aktuellen E-Paper.
RegistrierenMeist gelesen

„Wachstum durch Automatisierung, Robotik und KI-Integration“
Mit Matthias Göhner sprechen wir über die Bedeutung der Intralogistik für Leuze, die Rolle von Sicherheitslösungen, Nachhaltigkeit und KI in diesem Bereich sowie Schwerpunkte in F&E.

Industrielle Qualitätsprüfung mit Contact-Image-Sensoren
Für die Qualitätsprüfung flacher Objekte oder Endlosmaterial sind Contact-Image-Sensoren eine Alternative zu Zeilenkameras. Rauscher erweitert sein Portfolio um Insnex-CIS-Module mit bis zu 3.600 DPI.

„Komplett auf hygienisches Design ausgelegt“
Gemeinsam mit Nils Stello finden wir heraus, wie konsequentes Hygienic Design die Bedienung und Reinigung von Maschinen in der Lebensmittel- und Pharmaindustrie auf ein neues Niveau hebt.

Es muss nicht immer ein humanoider Roboter sein
Mythomorphes Design eröffnet der sozialen Robotik eine eigene Perspektive. Als Vorbilder dienen Mythen und Fantasiewesen statt Mensch oder Tier. Der Beitrag ordnet Beispiele ein und diskutiert Chancen sowie Risiken.

Mittelstand profitiert von intelligenter Quallitätsüberwachung
Eine neue Messtechnik soll Ausschussraten bei faserverstärkten Kunststoffprofilen (FVK) senken. Anwender erhalten damit eine echtzeit-fähige Prozesskontrolle.





