Software-Bibliothek für kamerageleitete Wafer-Positionierung
Zur kameragestützten Fertigungsüberwachung und Qualitätssicherung in der Solar-Wafer-Herstellung bietet Vision Components eine Software-Bibliothek für die hauseigenen intelligenten Smart Cameras an. Die Library bringt hierfür optimierte Positionierfunktionen mit.
Kameras mit diesem Softwarepaket stellen Anwendern also eine vollwertige Roboter-Guidance-Lösung zur Verfügung: Die vom integrierten Bildverarbeitungssystem erkannten Positionierungsdaten meldet die Kamera über eine Datenleitung, zum Beispiel eine Ethernet-Verbindung, an den Fertigungsroboter in der Anlage. Dieser kann dann gegebenenfalls nötige Korrekturbewegungen ausführen. Dank einer Messgenauigkeit, die deutlich unter 2 µm liegt, bieten die Systeme durchweg eine hochpräzise, bereits in der Praxis bewährte Hand-Auge-Koordination. Auch bei mehreren Regionen bzw. Objekten, also ein, zwei, vier oder mehr Wafern im Bild, bleibt eine Prozesszeit unter 1,0 s gewährleistet. Messgenauigkeit und Wiederholbarkeit werden selbst durch erschwerte Bedingungen nicht beeinträchtigt, etwa wenn die Siliziumscheiben Zerstörungen im Randbereich aufweisen oder der Bildhintergrund durch wechselnde Helligkeitsverläufe instabil ist. Objektkanten lassen sich nach Stärke und Rechtwinkligkeit sortieren, zusammenhängende Seiten werden von der Smart Camera automatisch geordnet und selektiert, und anhand der gefundenen Kanten werden Objektmittelpunkte und -drehlagen berechnet.
Die Funktionsbibliothek kann mit unterschiedlichen Kameratypen eingesetzt werden. Vision Components liefert ein nach Leistung abgestuftes Spektrum vollintegrierter Kameras mit eigenem Betriebssystem, so dass passgenau die anwendungsgerechte Lösung ausgewählt und implementiert werden kann.
