Schichtmessgerät AutoSE ermöglicht Mikrospot-Messungen

Das Schichtmesssystem AutoSE von Horiba Scientific verfügt neben der vollständigen Automatisierung und der einfachen Handhabung von Messprozeduren über ein software-schaltbares Mikrospotsystem.

Abhängig von der Probenbeschaffenheit ist es oft notwendig, sowohl die Größe, als auch die Position des Messspots an die Probenoberfläche anzupassen. Bei sehr kleinen Strukturen, gekrümmten oder verschmutzten Oberflächen, ergibt sich dabei das Problem der Justage: Mit einer außen angebrachten Kamera ist es bei wenig streuenden Oberflächen wie Gläsern oder Halbleitern kaum möglich den Spot überhaupt zu sehen - daraus resultiert eine prinzipielle Ungewissheit über die tatsächliche Messposition.

In der neuartigen optischen Auslegung des AutoSE wurde dieses Problem durch die patentierte Integration der Kamera in den Messkopf gelöst. Damit lassen sich Messpositionen exakt erkennen und Messungen werden auch in kleinsten Strukturen möglich. Die wählbaren Spotgrößen liegen zwischen 25 und 500 µm.