Neue Druckmesszellen

Hier ist insbesondere der SM97A als Nachfolger des SM98A für 10 und 20 bar zu nennen.

Niedrigste Differenzdrücke von unter 0,15 psi bis 1,5 psi (10 mbar ¬– 100 mbar) können dagegen mit dem SM95G gemessen werden. Diese Niederdruckmesszellen haben zur Erhöhung der Sensitivität ein biegesteifes Membranzentrum durch Mikrostrukturierung der Messzelle eingearbeitet. Durch eine zusätzliche Maskierung und Ätzung am Ende des Herstellungsprozesses gelingt es, die Membran auf der Rückseite reliefartig zu strukturieren und im Zentrum flächig zu verstärken. Die Membranrückseite erhält hierdurch eine symmetrische Flächenverdickung. Die lateralen Abmessungen, die Dicke und die Ebenheit dieser Verdickung sind kritische Größen, die aufwendig kontrolliert und optimiert werden müssen.