Multi-Beam-Interferometer für jeden Einsatzzweck

Das Grundkonzept aller Ausführungen verkörpert dabei das kompakte Einstrahl-Kalibrierinterferometer der SP-NG-Produktfamilie, dessen Sensorkopf samt Justiergelenk lediglich 133 x 91 x 54 mm – beziehungsweise 227 x 91 x 67 mm für Messungen großer Längen – umfasst. Denn dabei handelt es sich um ein Präzisionslängenmesssystem, bei dem der einzelne Messstrahl vom Reflektor auf demselben Wege, also in sich selbst, zurückgeworfen wird.

Dank dieses bewährten Prinzips ergibt sich ein definierter Antastpunkt am Messobjekt, sodass Ausrichtungsfehler sowie der typische Abbe-Fehler kompensiert werden können. Die optischen Eigenschaften der Reflektoren ermöglichen es, derartige Ausrichtfehler zu erkennen und zu korrigieren.