Miniatur-Hexapod-Positioniersystem mit sechs Freiheitsgraden

Er eignet sich für platzbeschränkte Anwendungen mit mehreren DOFs, die eine feine Positionierungsauflösung erfordern, wie Aufbau und Verbindungstechnik von Photonik-Komponenten, Optikinspektion und -ausrichtung, optisches Wafer-Probing, Sensortests in der Luft- und Raumfahrt und bei Satelliten sowie Probenausrichtung bei Synchrotron- und Beamline-Anwendungen. Weitere Merkmale sind die Tragkraft von 7,5 kg bei einer Blockierkraft von 100 N, der große Bewegungsbereich für eine einfache Integration in komplexe Anwendungen sowie die einfache Steuerung und Programmierung mit virtueller Drehpunkteinstellung. Schnelle Einschwingzeiten ermöglichen einen hohen Durchsatz bei Wiederholgenauigkeiten von weniger als 2 μm.