Konfokale Hochtemperatur-Sensoren IFS2407-HT/VAC
Die konfokal‑chromatischen Hochtemperatur‑Sensoren sind für Messungen in anspruchsvollen Umgebungen ausgelegt.
Der Confocal-DT-Hochtemperatur-Sensor ist der erste optische Sensor im Portfolio von Micro-Epsilon, der hohen Temperaturen bis zu 200 °C standhält. Durch den Verzicht auf organische Klebstoffe sind die Hochtemperatur-Sensoren aus Edelstahl ausgasungsarm und damit für den Einsatz bis zum Ultrahochvakuum (UHV) geeignet. Auch der passive Komponentenaufbau begünstigt Messungen im Vakuum, da die Sensoren keine Wärmestrahlung an die Umgebung abgeben.
Die innovativen HT-Modelle werden sowohl zur Weg- und Abstandsmessung auf reflektierenden und diffusen Oberflächen als auch für die Dickenmessung eingesetzt. Zudem überzeugen die HT-Sensoren mit einer Linearität von bis zu < ±0,18 µm und einer hohen Temperaturstabilität von bis zu < 0,1 µm/°C. Damit sind die konfokal-chromatischen Sensoren prädestiniert für Messaufgaben in der Halbleiter- und Elektronikindustrie sowie im Präzisionsmaschinenbau.
Dank ihrer kompakten Bauform eignen sich die Sensoren für Anwendungen mit begrenztem Bauraum. Zusätzlich stehen Modelle mit 90°-Strahlengang zur Verfügung, um die Bauraumtiefe weiter zu reduzieren. Die neuen Sensoren sind in den Messbereichen 0,8 mm, 2 mm und 4 mm erhältlich und lassen sich einfach in bestehende Prozessanlagen integrieren. Sie sind mit den konfokal-chromatischen IFC-Controllern kompatibel.
