Inline-Weißlichtinterferometer für schnelle Fertigungsprozesse

Bei einem Höhenmessbereich von 400 µm ist das mikroskopbasierte System mit seiner hohen lateralen Auflösung ideal zur präzisen Inline-Rauheitsmessung geeignet. Es erkennt feinste Oberflächenstrukturen und hält mit schnellen Fertigungstakten Schritt. Gescannt wird in Echtzeit unter Nutzung komplexer Algorithmen auf Grafikkarten. Verkleinert man das Bildfeld, kann die Bildwiederholungsfrequenz bis auf 3 kHz beschleunigt werden.

Da das Inline-Messsystem sehr kompakt baut, lässt es sich gut in die Fertigungslinie integrieren. Der kompakte Messkopf kann zudem wie ein Sensor separat montiert und damit flexibel positioniert werden. Dank vieler Exportmöglichkeiten können die 3D-Messdaten mit jeder geeigneten Auswertesoftware bearbeitet werden.