Hochpräzise luftgelagerte Rotationsachsen

Um maximale Nutzlast- und Formfaktoranforderungen für den Einsatz als einachsiger Positionierer, als Teil eines integrierten Systems oder auch einer integrierten Maschine zu erfüllen, stehen verschiedene ABRX-Rotationsachsen in den Durchmessern 100, 150 und 250 mm zur Verfügung. Somit eignen sie sich besonders für maximale Anforderungen in den Bereichen Wafer-Inspektion, Hochpräzisions-Messtechnik, optische Inspektion und Fertigung sowie MEMS/Nanotechnologie-Geräteherstellung.