Mit der DHM R2000 Familie von Lyncée tec präsentiert Schaefer Technologie neue digitale, holografische Mikroskope. Der simultane Dual Wavelength Modus erlaubt es, die Topographie mit einer künstlichen Wellenlänge von bis zu 30 µm zu untersuchen und gleichzeitig die hohe vertikale Auflösung der Einzelwellenlänge zu behalten. Auf diese Weise können Oberflächen, die Stufen bis 15 µm (DHM R2200) oder bis 3,4 µm (DHM R2100) enthalten, ohne Rasterverfahren in einem einzelnen Kamerabild dreidimensional aufgenommen werden. Dadurch wird die hohe Messgeschwindigkeit von 30 Messungen pro Sekunde erreicht. Da die Daten der beiden Wellenlängen simultan aufgenommen werden, spielen Schwingungen oder andere externe Störungen keine Rolle.

Die laterale Auflösung wird durch die Objektive begrenzt und kann besser als 500 nm werden. Die vertikale Auflösung liegt für alle Objektive im Sub-Nanometer-Bereich. Zur Auswahl stehen Objektive mit Vergrößerungen von 1,25x bis 100x, unterschiedlichen Arbeitsabständen, numerischen Aperturen von bis zu 0,9 in Luft und 1,4 in Öl und verschiedenen optischen Adaptionen (Glaskompensation, Öl- und Wasserimmersion).

Mehrere motorisierte Positionstische bis 300 mm Verfahrweg stehen auch für Stitching-Aufgaben zur Verfügung. Ein optionaler stroboskopischer Modus mit Anregungsfrequenzen bis 25 MHz und Aufnahmezeiten von 7,5 ns erlaubt die Messung sehr schnell schwingender Systeme.

Die DHM R2000 Familie eignet sich für schnelle Inspektionen von Oberflächenstrukturen in der automatischen, industriellen Qualitätsprüfung und zur schnellen und dynamischen Charakterisierung von Oberflächen-Topographien in der Forschung und Entwicklung.