Die Europäische Union fördert mit dem Projekt 14-Ångström-CMOS die Entwicklung des nächsten Technologieknotens, der die Herstellung von Chipstrukturen mit Abmessungen bis hinunter zu 1,4 Nanometern ermöglichen soll. Physik Instrumente (PI) beteiligt sich an dem Forschungsprogramm mit der Entwicklung hochpräziser Positioniersysteme mit Genauigkeiten von unter einem Nanometer.

Aktuell entsprechen mit der 3-nm-Technologie produzierte High-End-Mikrochips dem Stand der Technik. Bereits im nächsten Jahr sollen Fertigungstechnologien für den 2-nm-Technologieknoten zur Verfügung stehen und bis 2027 für 1,4 nm. Das mit 95 Millionen Euro dotierte Forschungsprojekt 14ACMOS wird von der EU kofinanziert und vom „Gemeinsamen Unternehmen für Chips (Chips JU)“ unterstützt. Es bündelt das Know-how und die Entwicklungskompetenz der führenden Ausrüster der Halbleiterindustrie Europas.

PI ist seit Jahrzehnten Systempartner für die Halbleiterindustrie und mit Positioniersystemen in zahlreichen Bereichen der Halbleiterfertigung weltweit vertreten. Die Produkte des Spezialisten für die Nanopositionierung kommen heute schon beispielsweise bei der Lithografie oder der Metrologie für die Qualitätskontrolle zum Einsatz. Die im Rahmen des Projektes 14ACMOS zu entwickelnden Positioniersysteme müssen auch unter Vakuumbedingungen präzise und hochdynamisch funktionieren, damit sie wirtschaftlich einsetzbar sind.

Das Projekt wird von ASML koordiniert, dem niederländischen Weltmarktführer für Lithografiesysteme zur Halbleiterherstellung, und hat weitere 23 Teilnehmer, darunter (nach net EU contribution geordnet): Imec (BEL), Carl Zeiss SMT (GER), Trumpf (GER), Bruker Technologies (ISR) und Applied Materials (ISR).