Mit flächenhaft messenden Abstandssensoren, wie z. B. dem Werth 3D-Patch oder dem Werth Nano Focus Probe NFP, lassen sich in Verbindung mit 3D-CAD-Daten sehr schnell Aussagen bezüglich der Werkstückqualität treffen. Ist die zu messende Fläche größer als das Sehfeld des Sensors, können mehrere Messpunktewolken aneinander gereiht und zu einer Gesamtoberfläche berechnet werden. Die Werkstücke müssen jedoch nicht zwingend komplett digitalisiert werden, da der jeweilige Sensor in Werkstückkoordinaten frei im Messvolumen positioniert werden kann, um die interessierenden Bereiche zu erfassen. Diese Vorgehensweise spart Messzeit und bietet auf Grund der Sensorintegration im Koordinatenmessgerät bisher unerreichte Präzision. Der Einsatz weniger genauer Stitching-Verfahren, die nur mit geeigneten Objektstrukturen funktionieren, ist nicht erforderlich. 

Sowohl für diffus reflektierende Oberflächen als auch für spiegelnde Werkstücke stellt die Werth Messtechnik GmbH mit dem Fokusvariationsverfahren, Werth 3D-Patch, und dem konfokalen Sensor, Nano Focus Probe (NFP), die perfekte 3D-Sensorik mit Messabweichungen bis in den Submikrometerbereich zur Verfügung.

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