Dem Thema „Integration von Messsystemen in Positioniersysteme“ hat Aerotech eine eigene Applikationsgruppe gewidmet. Diese nutzt Keyence-Geräte zusammen mit Aerotech-Software für Oberflächenmessungen. So hat das Unternehmen beispielsweise das 3D-Laserscanning-Mikroskop VK-X1000 von Keyence in ein System integriert.

Das Laborsystem wird ebenfalls zur Höhenprofilierung und Rauheitsmessung eingesetzt, bietet aber durch die höhere Auflösung Messmöglichkeiten im Submikrometerbereich, woraus allerdings auch höhere Anforderungen an das Positioniersystem resultieren. Es gab herstellerseitige Beschränkungen in Bezug auf Verstellwege und Belastbarkeit, die mithilfe von Aerotech gelöst werden konnten.