Für Topographie- und Ebenheitsmessungen bietet Fries Research & Technology (FRT) jetzt ein neues Weißlicht-Interferometer an, dass in die Multisensor-Oberflächenmessgeräte von FRT integriert werden kann.

Der Sensor WLI PL ist in der Lage, Höhenunterschiede von Oberflächenstrukturen mit einer Auflösung von 10 nm berührungslos und dreidimensional zu vermessen. Der Sensor ist mit einer patentierten One-Shot-Technologie ausgestattet, welche die Oberflächen hochauflösend und großflächig binnen Sekunden erfasst. Speziell in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik wird der Sensor in der Forschung & Entwicklung und in der Produktionskontrolle eingesetzt. Er eignet sich aber auch für eine Vielzahl weiterer Anwendungen, etwa in den Bereichen Photovoltaik, Automotive, Medizintechnik und Optikindustrie.

Durch die berührungslose und zerstörungsfreie Messung können die verschiedensten Materialien und Oberflächen analysiert werden. Silizium, Glas, Metalle, Kunststoffe oder Keramiken lassen sich mit dem WLI PL untersuchen, unabhängig davon, ob sie reflektierend, rau, strukturiert oder poliert sind. Der Sensor liefert in einem einzigen Messdurchgang Daten über 3D-Topographie, Ebenheit, Profil, Rauheit und Kontur.

Typische Anwendungsbeispiele finden sich in der Halbleiterfertigung. So können Through Silicon Vias (TSV) für 3DIC Baugruppen sehr schnell und großflächig untersucht werden. Auch für die schnelle Analyse von großen Bump-Feldern und für Ebenheitsmessungen eignet sich der neue Sensor. Das Messfeld mit einer Größe von bis zu 35 mm x 35 mm wird über ein auswechselbares Objektiv an die Messaufgabe angepasst.

Das neue Weißlicht-Interferometer kommt in den Multisensor-Messgeräten MicroProf und den vollautomatischen Messsystemen MicroProf MFE in Kombination mit weiteren optischen Sensoren, Rasterkraft- oder Konfokalmikroskopen zum Einsatz.