Die Baumer CX.XC Industriekameras bieten die optimale Lösung für hochpräzise Bilderfassung in der Halbleiterfertigung durch Temperaturstabilität bei einer gleichzeitig kompakten Bauform von 36 x 36 mm.

Haben Glasöfen und Silizium-Wafer etwas gemeinsam? Ja, zumindest beim Einsatz von Industriekameras. Denn für Inspektionsaufgaben benötigen die Kameras in beiden Fällen aktive Kühlung. In der Nähe von Industrieöfen müssen die temperaturempfindlichen Bauteile vor der Hitze geschützt werden, und beim Wafer-Bonding ist thermische Stabilität Voraussetzung für die benötigten hochpräzisen Aufnahmen. Hierfür entwickelte Baumer die Möglichkeit einer internen Kamerakühlung mit Hilfe eines patentierten, innovativen Kühlkanals.

Die Kühlung über den eingebauten Kanal funktioniert sowohl mit Druckluft (2-3 bar) als auch mit Flüssigkeiten wie Wasser (bis zu 6 bar). Dabei führt der Kanal die Wärme aus der direkten Nähe von Sensor und Objektiv ab und senkt somit die Temperatur innerhalb weniger Minuten auf konstante Werte und damit deutlich schneller als die bislang üblichen externen Vorrichtungen.

Dies bedeutet für Anwender eine signifikante Zeit- als auch Kostenersparnis, weil die Aktivkühlung von Baumer das Warten bis zur Messdatenerfassung verkürzt. Zudem liefern die CX.XC Kameras durch die effektive Wärmeabfuhr Bilder mit sehr geringem Rauschen und wenigen Defektpixeln.

Halbleiterfertigung braucht hochpräzise Messwerte

Gerade in der Halbleiterfertigung ist thermische Stabilität der Kameras essentiell. Beim Wafer-Bonding beispielsweise muss die Inspektion sicherstellen, dass die Passmarken der einzelnen Wafer exakt übereinander liegen. Das lässt sich nur mit hochpräziser Bilderfassung erreichen, da die Messtoleranzen im Nanometer-Bereich liegen. Für diese genauen Daten ist thermische Stabilität der relevanten Kamerabauteile während der Messzykluszeit erforderlich. Der in die Kamera integrierte Kühlkanal von Baumer bringt hier entscheidende Vorteile mit sich.
 

Verlässliche Bildqualität und Betrieb auch bei höheren Umgebungstemperaturen

Eingesetzt werden können die Baumer CX.XC Kameras bei Temperaturen von bis zu 65° am Gehäuse und liefern auch dann zuverlässige Bilddaten. Damit sind sie auch für alle Industrien mit höheren Umgebungstemperaturen, wie etwa die Glasindustrie, die Metallverarbeitung oder die Backbranche relevant.
 

Standardkonform für zahlreiche industrielle Anwendungsfelder

Bei der Entwicklung achtete Baumer zudem auf standardkonforme GigE Vision Kameras mit modernen Sony Pregius Global Shutter Sensoren und einer Auflösung bis zu 5 MP sowie einer Bildrate von bis zu 24 fps, welche sich bereits vielfach in der industriellen Anwendung bewährt haben.

Durch die innovative Lösung des integrierten Kühlkanals spart der Anwender wesentliche Zeit und damit auch Kosten während seiner Messvorgänge und in der Qualitätsinspektion. Zudem lässt sich das kompakte 36 x 36 mm Gehäuse auch bei engen Umgebungsbedingungen ohne zusätzliche Kühlkomponenten optimal integrieren. Die standardkonformen Kameras bieten eine leistungsfähige Bildverarbeitung für zahlreiche industrielle Anwendungsfelder, sei es in warmen Umgebungen oder für die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie.

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