Der RZ/G2UL-Mikroprozessor enthält eine Cortex-A55 (1,0 GHz) CPU sowie einen CortexM33-Koprozessor, während der RZ/Five einen RISC-V-CPU-Kern (AX45MP Single) mit 1,0 GHz hat.

In der kleinsten Größe S konzentrieren die neuen MSRZ SiP SoMs die umfangreiche Funktionalität auf einem Board von jeweils nur 30 auf 30 mm. Die Module sind konform zum OSM-Standard der SGET und bieten einen LCD-Controller. Sie unterstützen 512 MB bis 4 GB DDR4 RAM und 4 GB eMMC NAND Flash. Die Schnittstellen umfassen unter anderem: Kameraeingang (MIPI-CSI), Display-Ausgang (Parallerl-IF), USB2.0 2ch, SD 2ch, CAN (CAN-FD) und Gigabit-Ethernet 2-Channel. Der Temperaturbereich liegt bei -25 °C bis +85 °C sowie -40 °C bis +85 °C für Industrieumgebungen.