Flächenhaftes Vermessen von Oberflächen mit optischer Messtechnik wird in vielen Branchen immer bedeutender. Die Mahr GmbH bietet mit „MarSurf WS1" und dem „Interferometrischem Weißlichtsensor (IWS)" Oberflächensensoren und Messplätze, die nach dem Prinzip der Weißlichtinterferometrie arbeiten. Wer eine Oberfläche mit einem Interferometrischen Weißlichtsensor von Mahr flächenhaft dreidimensional misst, erfasst Messdaten 100 Mal schneller als mit der Tastschnittmethode. Gleichzeitig stößt der Benutzer mit dieser optischen Messtechnik in die Genauigkeit des Nanometerbereichs vor, da dieser Sensor mit einer vertikalen Auflösung von 0,1 nm arbeitet.

Weitere Vorteile für den Nutzer: Das Werkstück wird durch diesen Sensor nicht deformiert oder beeinträchtigt, die Oberfläche bleibt unbeschädigt und es gibt keinen Verschleiß an der Messeinrichtung. So erlaubt es dieses Messprinzip, Oberflächen zu messen, die mit einem Messtaster nicht oder nur bedingt messbar sind. Der „Interferometrische Weißlichtsensor (IWS)" ist auf Multisensormessplätzen von Mahr im Einsatz. Mit einer Messpunktdichte von bis zu 1,8 Mio. 3D-Messpunkten pro Sekunde können Topografien, Konturen und Rautiefen einer Oberfläche schnell und exakt gemessen werden. Angewendet wird der Sensor beispielsweise, um Strukturen von LCD-Bildschirmen zu überprüfen, Mikrolinsen in der Optikindustrie zu messen oder um die Qualität von Leiterplatten in der Elektroindustrie zu sichern. Die optische Messung auf einem Multisensor-Messplatz ist aufgrund der großen Verfahrwege auch für große Werkstücke interessant. Zudem kann der Sensor hier mit weiteren optischen und tastenden Sensoren kombiniert werden.

Der kompakte Mahrmessplatz „MarSurf WS1" ist ideal im Messraum wie auch fertigungsnah einzusetzen. Die innovative Auswertung des Messsignals erlaubt dem Messgerät, sowohl spiegelnde als auch raue Werkstücke zu analysieren. So können Metall, Glas, Lack, Kunststoffe oder Beschichtungen gemessen werden. Dadurch ist der optische Messplatz für die Blech-, Lack-, Medizin- und Kunststoffindustrie besonders interessant. Typische Bauteile sind beispielsweise Lager, Bohrungen, Stahlblech, Folien oder Wafer. Die Messdaten der Weißlichtsensoren werden mit der Mahr-Software „MarWin XT" komfortabel und anschaulich ausgewertet. Die mikrotopografische Oberflächendarstellung auf dem PC-Monitor bietet sehr viele Informationen über die zu messende Fläche.